SUBWAVELENGTH LITHOGRAPHY WITH REFLECTION NEAR FIELD OPTICAL MICROSCOPY

Bibliographic Details
Main Authors: Tománek, Pavel (Author), Grmela, Lubomír, 1958- (Author)
Format: Article
Language:English
ISBN:8022709794

MARC

LEADER 00000naa a2200000uu 4500
001 vtls011093422
003 SK-MaSNL
005 20260428111438.0
008 210824|1997 xo |||||||||||||||||eng|
015 |a SNBRA 
035 |a (urnnbn)urn:nbn:sk:snk:ar-a0csbj 
035 |a (uuid)f3a63b07-55c3-401c-b853-87b9fd560481 
035 |a urn:nbn:sk:snk-aavxzt 
040 |a SNKBUCL  |b slo  |c SNKBUCL  |e AACR2 
041 0 |a eng 
044 |a xo  |c SK 
100 1 |a Tománek, Pavel  |4 aut  |9 786620 
245 1 0 |a SUBWAVELENGTH LITHOGRAPHY WITH REFLECTION NEAR FIELD OPTICAL MICROSCOPY  |c Pavel Tománek, Lubomír Grmela 
700 1 |a Grmela, Lubomír,   |d 1958-  |4 aut  |9 786621 
773 0 |t CO-MAT-TECH '97 : 5. vedecká konferencia s medzinárodnou účasťou, Trnava 14.-15. októbra 1997 : sekcia: aplikované prírodné a inžinierske vedy, humanitné a spoločenské vedy v technike  |d V Bratislave : Slovenská technická univerzita, Materiálovotechnologická fakulta, 1997  |g S. 157-162  |z 8022709794 
958 |a OND 
958 |a article12 
958 |a chapter 
999 |c 1243655  |d 1245585