Application of Polyimides in Microelectronics

Bibliographic Details
Main Authors: Matay, L. (Author), Csabay, Otto, 1937-2013 (Author), Andok, R. (Author)
Format: Article
Language:English
ISBN:8022712566

MARC

LEADER 00000naa a2200000uu 4500
001 vtls010936325
003 SK-MaSNL
005 20260302115848.0
008 210910|1999 xo |||||||||||||||||eng|
015 |a SNBRA 
035 |a (urnnbn)urn:nbn:sk:snk:ar-a0b81i 
035 |a (uuid)32c301fb-2046-4834-8493-97ce4d451549 
035 |a urn:nbn:sk:snk-aau0eh 
040 |a SNKBUCL  |b slo  |c SNKBUCL  |e AACR2 
041 0 |a eng 
044 |a xo  |c SK 
100 1 |a Matay, L.  |4 aut  |9 777407 
245 1 0 |a Application of Polyimides in Microelectronics  |c L. Matay, O. Csabay, R. Andok 
700 1 |a Csabay, Otto,  |d 1937-2013  |4 aut  |9 13771 
700 1 |a Andok, R.  |4 aut  |9 799742 
773 0 |t ELITECH '99  |d Bratislava : Slovenská technická univerzita, 1999  |g S. 66-69  |z 8022712566 
958 |a OND 
958 |a article11 
958 |a chapter 
999 |c 1266746  |d 1268676