Stabilita deponovaných izolačných vrstiev štruktúry MIS

Bibliographic Details
Main Authors: Nágl, V. (Author), Csabay, Otto, 1937-2013 (Author)
Format: Article
Language:Slovak
PhysicalDescription:Tb. 2., lit. 3 zázn. v angl.
Subjects:

MARC

LEADER 00000nab a2200000 a 4500
001 vtls000272898
003 SK-MaSNL
005 20260302213738.0
008 111202c1986 xo 0 slo
015 |a SNBRA19rr/mm-uuuuu 
035 |a CL0283012 
040 |a SNKBUCL  |b slo  |c SNKBUCL  |e AACR2 
041 0 |a slo 
044 |a xo  |c SK 
080 |a 621.382  |2 1981 
080 |a 537.311.322  |2 1981 
080 |a 621.315.6  |2 1981 
100 1 |a Nágl, V.  |4 aut  |9 940171 
245 1 0 |a Stabilita deponovaných izolačných vrstiev štruktúry MIS  |c V. Nágl, O. Csabay 
300 |b Tb. 2., lit. 3 zázn. v angl. 
650 0 7 |a štruktúry MIS (elektr.)  |2 snkbucl  |9 940168 
655 7 |a články zo zborníkov  |2 snkbucl  |9 166140 
700 1 |a Csabay, Otto,  |d 1937-2013  |4 aut  |9 13771 
773 0 |t Zborník prác z vedeckej konferencie Elektrotechnickej fakulty SVŠT. Sekcia: Mikroelektronika  |d Bratislava : SVŠT, 1986  |g S. 31-38 
850 |a Slovenská národná knižnica v Martine  |a MTA001 
852 |a SNK  |b KIS3GCP 
958 |a RK 
992 |a RZB 
999 |c 1494752  |d 1496682