Vplyv povrchových oxidačných vrstevných chýb v technológii CMOS na elektrické parametre PN-priechodov

Bibliographic Details
Main Author: Stehlík, Štefan (Author)
Format: Article
Language:Slovak
PhysicalDescription:Obr. 3. Tb. 1. Grafy 5., lit. 7 zázn. v slov., angl.
Subjects:
Description
Physical Description:Obr. 3. Tb. 1. Grafy 5., lit. 7 zázn. v slov., angl.