Príspevok k tvorbe tenkých polykryštalických vrstiev kremíka získavaných pyrolytickým rozkladom silánu

Bibliographic Details
Main Author: Dubnička, Milan (Author)
Format: Article
Language:Slovak
PhysicalDescription:Obr. 9. Res. rus., nem., angl.
Subjects:
Description
Physical Description:Obr. 9. Res. rus., nem., angl.