Sledovanie rozloženia aktívnych prímesí pri povrchu kremíka pomocou kapacitných meraní štruktúr MIS

Podrobná bibliografia
Hlavný autor: Csabay, Otto, 1937-2013 (Autor)
Médium: Článok
Jazyk:slovenčina
PhysicalDescription:Obr. 5. Res. rus., nem., angl.
Predmet:
Popis
Fyzický popis:Obr. 5. Res. rus., nem., angl.