Sledovanie rozloženia aktívnych prímesí pri povrchu kremíka pomocou kapacitných meraní štruktúr MIS
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Slovak |
| PhysicalDescription: | Obr. 5. Res. rus., nem., angl. |
| Subjects: |
Similar Items
Využitie anodickej oxidácie na postupné odstraňovanie tenkých vrstiev kremíka pri určovaní rozdelenia aktívnych prímesí
by: Kinder, R., et al.
by: Kinder, R., et al.
Křemík v polovodičovém průmyslu - výroba čistého křemíku
by: Kašlík, Z., et al.
by: Kašlík, Z., et al.
Křemík - souhrn fyzikálních vlastností
by: Kašlík, Z., et al.
by: Kašlík, Z., et al.
Vplyv reaktorových neutrónov na fyzikálne vlastnosti kremíka
by: Mudroň, Ján, 1949-
by: Mudroň, Ján, 1949-
