Investigation of the influence of oxygen plasma on the electrical properties of Si-SiO2 interface

Bibliographic Details
Main Authors:	Segeč, Ondrej (Author), Guldan, Arnošt (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
PhysicalDescription:	Obr. 1. Res. angl., rus.
Subjects:	štruktúry MIS hustota paramagnetických centier hustota efektívnych povrchových stavov články z novín a časopisov

Description
Physical Description:	Obr. 1. Res. angl., rus.

Similar Items