The Use of a Four Point Probe for Profiling of Submicron Layers

Podrobná bibliografia
Hlavní autori: Kinder, R. (Autor), Weber, B. (Autor)
Médium: Článok
Jazyk:slovenčina
angličtina
Fyzický popis:Grafy 3, sch. 2, tab. 1, lit. 10 zázn. v angl., slov.
ISSN:0013-578X
Predmet:

MARC

LEADER 00000nab a2200000 a 4500
001 vtls000510678
003 SK-MaSNL
005 20260304092633.0
008 250425c1993 xo 0 slo
015 |a SNBRB19rr/mm-uuuuu 
035 |a CL0510816 
035 |a urn:nbn:sk:snk-abd2hp 
035 |a (urnnbn)urn:nbn:sk:snk:ar-006wnb 
035 |a (uuid)ff4f14c0-c50d-421f-b7fd-4f693f370933 
040 |a SNKBUCL  |b slo  |c SNKBUCL  |e AACR2 
041 0 |a eng 
044 |a xo  |c SK 
080 |a 621.3.049.7.08:621.315.59  |2 1981 
080 |a 621.315.59  |2 1981 
100 1 |a Kinder, R.  |4 aut  |9 782981 
245 1 4 |a The Use of a Four Point Probe for Profiling of Submicron Layers  |c R. Kinder, B. Weber 
300 |b Grafy 3, sch. 2, tab. 1, lit. 10 zázn. v angl., slov. 
650 0 7 |a polovodiče  |2 snkbucl  |9 1571 
650 0 7 |a vrstvy tenké Si  |2 snkbucl  |9 1386759 
655 7 |a články z novín a časopisov  |2 snkbucl  |9 267496 
700 1 |a Weber, B.  |4 aut  |9 740281 
773 0 |t Elektrotechnický časopis  |g Roč. 44, č. 8 (1993), s. 233-237  |x 0013-578X 
850 |a Slovenská národná knižnica 
852 |a Slovenská národná knižnica 
958 |a article17 
958 |a OND 
958 |a NB 
958 |a RK 
958 |a EUIPO 
992 |a RBX 
999 |c 2819772  |d 2821702