Negatívny vplyv kremíka na kinetiku rastu nitridovaných vrstiev
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Slovak |
| PhysicalDescription: | Tab. 2, grafy 2, lit. 8 zázn. v ruš., slov. |
| ISSN: | 0023-432X |
| Subjects: |
| Physical Description: | Tab. 2, grafy 2, lit. 8 zázn. v ruš., slov. |
|---|---|
| ISSN: | 0023-432X |
