Is Citric acid a Selective Etchant for InGaAs/GaAs?

Bibliographic Details
Main Authors:	Škriniarová, Jarka (Author), Breza, Juraj, 1951- (Author), Kováč, Jaroslav, 1947- (Author), Novotný, Ivan (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
Subjects:	polovodiče InGaAs polovodiče GaAs mokré leptanie kyselina citrónová články z novín a časopisov

Description
Physical Description:	Obr. 4, tab. 1, res. angl., lit. 9 zázn. v angl.
ISSN:	0013-578X

Similar Items