Aparatúra na iónové leptanie

Podobné exempláre

• Dependence of Radiation Defect Formation on Ion Beam Incidence Angle
  Autor: Abramov, Azik, a ďalší
• Reactive ion etching of SiO3N4 in CF4 plasma
  Autor: Brčka, J., a ďalší
• Plazmatické a iontové leptání
  Autor: Jech, Čestmír, 1925-2002
• Reaktivní iontové leptání Au a Pt v CF3CL a Ar
  Autor: Novotný, Zdeněk
• Lokalizované leptání GaAs
  Autor: Berková, Daniela, a ďalší