Plasma-removing of polymeric layers from integrated circuits

Bibliographic Details
Main Authors:	Štirand, Oto (Author), Skála, Jiří (Author), Kodymová, Jarmila, 1945- (Author), Králiková, Božena (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
PhysicalDescription:	Obr. 4. Res. angl., rus.
Subjects:	plazma (fyzika) plazmové obrábanie odstraňovanie vrstiev polymerických integrované obvody výboj vysokofrekvenčný epoxidové živice články z novín a časopisov

Description
Physical Description:	Obr. 4. Res. angl., rus.

Similar Items