Plasma-removing of polymeric layers from integrated circuits

Podrobná bibliografia
Hlavní autori:	Štirand, Oto (Autor), Skála, Jiří (Autor), Kodymová, Jarmila, 1945- (Autor), Králiková, Božena (Autor)
Médium:	Článok
Jazyk:	slovenčina angličtina
Fyzický popis:	Obr. 4. Res. angl., rus.
Predmet:	plazma (fyzika) plazmové obrábanie odstraňovanie vrstiev polymerických integrované obvody výboj vysokofrekvenčný epoxidové živice články z novín a časopisov

Podobné exempláre

Epoxydové pryskyřice
Autor: Lidařík, Miloslav, 1927-2000, a ďalší
Vydavateľské údaje: (1961)