Optical properties of re-crystallized polycrystalline silicon thin films from a-Si films deposited by electron beam evaporation

Bibliographic Details
Main Authors: Netrvalová, Marie, 1982- (Author), Vavruňková, Veronika, 1982- (Author), Müllerová, Jarmila, 1956- (Author), Šutta, Pavol, 1944- (Author)
Format: Article
Language:Slovak
English
Subjects:

MARC

LEADER 00000nab a2200000 a 4500
001 vtls010087654
003 SK-MaSNL
005 20260305001057.0
008 250507c2009 xo |||||||||||000 b|slo
015 |a SNBRB2010/04  |2 snkbucl 
035 |a (uuid)87faee55-6fb7-4aa2-a415-bc99fdc1a647 
035 |a urn:nbn:sk:snk-abdrue 
035 |a (urnnbn)urn:nbn:sk:snk:ar-a0agxx 
038 |a SNKBUCL 
040 |a SNKBUCL  |b slo  |c SNKBUCL  |e AACR2 
041 0 |a eng 
044 |a xo  |c SK 
080 |a 539.234:546.28-026.61  |2 2001 
080 |a 539.216  |2 2001 
080 |a 546.28-026.61  |2 2001 
245 0 0 |a Optical properties of re-crystallized polycrystalline silicon thin films from a-Si films deposited by electron beam evaporation  |c Marie Netrvalová ... [et al.] 
300 |b Grafy, fotogr., tab. 
500 |a Biogr. údaje 
504 |a Bibliogr. odkazy 
546 |a Res. angl. 
650 0 7 |a tenké vrstvy  |2 SNKPH  |9 31807 
650 0 7 |a kremík  |2 snkbucl  |9 20966 
650 0 7 |a odparovanie elektrónovým lúčom  |2 snkbucl  |9 1576080 
650 0 7 |a optické vlastnosti materiálov  |2 snkbucl  |9 99753 
650 0 7 |a experimentálny výskum  |2 SNKPH  |9 71790 
655 7 |a štúdie  |2 SNKPH  |9 57033 
700 1 |a Netrvalová, Marie,  |d 1982-  |4 aut  |9 1576082 
700 1 |a Vavruňková, Veronika,  |d 1982-  |4 aut  |9 1576083 
700 1 |a Müllerová, Jarmila,  |d 1956-  |4 aut  |9 209314 
700 1 |a Šutta, Pavol,  |d 1944-  |4 aut  |9 586992 
773 0 |t Journal of electrical engineering = Elektrotechnický časopis  |g Vol. 60, no. 5 (2009), p. 279-282  |x 1335-3632 
850 |a Slovenská národná knižnica 
852 |a Slovenská národná knižnica 
958 |a article19 
958 |a OND 
958 |a NB 
958 |a EUIPO 
999 |c 3217421  |d 3219351