Čistenie kremíkových dosiek vysokofrekvenčným ultrazvukom pred vysokoteplotnými operáciami

Bibliographic Details
Main Author:	Jankech, Dominik (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak
PhysicalDescription:	Obr. 7. Tb. 1. Graf. 1. Sch. 2., lit. 2 zázn. v slov.
Subjects:	mikroelektronika polovodiče dosky kremíkové čistenie ultrazvukom vysokofrekvenčným články zo zborníkov

Similar Items