Investigation of some electrical properties in 400 kHz Ar and N2 RF discharges

Bibliographic Details
Main Authors:	Hain, M. (Author), Veis, P. (Author)
Format:	Article
Language:	English
PhysicalDescription:	Obr. 3. Res. rus., angl., lit. 9 zázn. v ruš., angl.
Subjects:	výboje elektrické vysokofrekvenčné argón dusík články z novín a časopisov

Similar Items