Vplyv technologických podmienok prípravy na stabilitu MIS štruktúr

Bibliographic Details
Main Authors: Csabay, Otto, 1937-2013 (Author), Valehrachová, Daniela, 1950- (Author)
Format: Article
Language:Slovak
PhysicalDescription:Tb. 2. Sch. 1. Grafy 10. Res. rus., nem., angl., lit. 10 zázn. v slov. a angl.
Subjects: