Vplyv podmienok iónovej implantácie na koncentračný profil majoritných nosičov náboja

Bibliographic Details
Main Authors:	Kinder, R. (Author), Csabay, Otto, 1937-2013 (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak
Subjects:	obvody integrované polovodičové implantácia iónová nosiče náboja články zo zborníkov

Similar Items