Vplyv parametrov implantácie na pohyblivosť nosičov náboja v kanáli tranzistorov typu MISFET

Bibliographic Details
Main Authors: Partyk, Bohuslav, 1911-1990 (Author), Csabay, Otto, 1937-2013 (Author), Malko, J. (Author)
Format: Article
Language:Slovak
Subjects: