Laserový interferenční měřící systém pro mikroelektroniku ; František Petrů, Alois Stejskal, Bohumír Popela, Jiří Kršek, Zdenka Veselá, Miloš Jákl

Podrobná bibliografia
Hlavní autori:	Petrů, František, 1964- (Autor), Stejskal, Alois (Autor), Popela, Bohumír (Autor), Kršek, Jiří (Autor), Veselá, Zdenka (Autor), Jákl, Miloš (Autor)
Médium:	Článok
Jazyk:	čeština
PhysicalDescription:	Obr. 3. Sch. 2. Grafy 3., lit. 4 zázn. v češ., nem.
Predmet:	mikroelektronika prístroje laserinterferometrické články zo zborníkov

Podobné exempláre