Laserový interferenční měřící systém pro mikroelektroniku ; František Petrů, Alois Stejskal, Bohumír Popela, Jiří Kršek, Zdenka Veselá, Miloš Jákl

Bibliographic Details
Main Authors:	Petrů, František, 1964- (Author), Stejskal, Alois (Author), Popela, Bohumír (Author), Kršek, Jiří (Author), Veselá, Zdenka (Author), Jákl, Miloš (Author)
Format:	Article
Language:	Czech
PhysicalDescription:	Obr. 3. Sch. 2. Grafy 3., lit. 4 zázn. v češ., nem.
Subjects:	mikroelektronika prístroje laserinterferometrické články zo zborníkov

Description
Physical Description:	Obr. 3. Sch. 2. Grafy 3., lit. 4 zázn. v češ., nem.

Similar Items