Reaktivní magnetronová depozice tenkých kvaziamorfních vrstev nitridu titanu

Bibliographic Details
Main Authors: Musil, J. (Author), Lončar, G. (Author), Bárdoš, J. (Author), Vyskočil, J. (Author), Daďourek, K. (Author), Kubíček, V. (Author)
Format: Article
Language:Czech
Subjects: