Príčiny vzniku povrchových oxidačných vrstevných chýb v technológii CMOS ; Dušan Korytár, A. Weissensteiner, M. Bunčiak, M. Ožvold
| Main Authors: | , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Slovak |
| PhysicalDescription: | Obr. 8. Tb. 1., lit. 10 zázn. v angl. |
| Subjects: |
| Physical Description: | Obr. 8. Tb. 1., lit. 10 zázn. v angl. |
|---|


