Príčiny vzniku povrchových oxidačných vrstevných chýb v technológii CMOS ; Dušan Korytár, A. Weissensteiner, M. Bunčiak, M. Ožvold

Bibliographic Details
Main Authors: Korytár, Dušan (Author), Weissensteiner, A. (Author), Bunčiak, M. (Author), Ožvold, Milan, 1941- (Author)
Format: Article
Language:Slovak
PhysicalDescription:Obr. 8. Tb. 1., lit. 10 zázn. v angl.
Subjects:
Description
Physical Description:Obr. 8. Tb. 1., lit. 10 zázn. v angl.