Elektromigračná odolnosť Al-Cu-Si tenkovrstvových spojov zhotovených magnetrónovým naprašovaním

Bibliographic Details
Main Authors: Luby, Štefan, 1941- (Author), Roman, Pavol (Author), Barna, P. B. (Author)
Format: Article
Language:Slovak
Subjects:
Description
Physical Description:Obr. 2. Tb. 2. Grafy 2. Res. rus., nem., angl., lit. 21 zázn. v slov., češ., angl.