Vlastnosti naprašovaných vrstiev tantalu a príprava ich silicidov

Bibliographic Details
Main Authors: Buch, Július (Author), Pavlenda, Pavel, 1965- (Author), Luby, Štefan, 1941- (Author)
Format: Article
Language:Slovak
PhysicalDescription:Tb. 2. Grafy 4., lit. 6 zázn. v slov., angl.
Subjects: