Využitie anodickej oxidácie na postupné odstraňovanie tenkých vrstiev kremíka pri určovaní rozdelenia aktívnych prímesí

Bibliographic Details
Main Authors:	Kinder, R. (Author), Csabay, Otto, 1937-2013 (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak
Subjects:	polovodiče kremík integrované obvody oxidácia anodická články z novín a časopisov

Similar Items