R.F. Reactively Sputtered Titanium Nitride Films Applicable to Piezoresistive Pressure Sensors

Bibliographic Details
Main Authors:	Tvarožek, Vladimír, 1943- (Author), Novotný, Ivan (Author), Rajniak, Daniel (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
PhysicalDescription:	Obr. 4, tab. 2, lit. 6 zázn. v angl., češ., slov.
ISSN:	0013-578X
Subjects:	nitrid titánu pokovovanie piezorezistivne snímače tlaku články z novín a časopisov

Similar Items