The influence of radiation stimulated gettering on the reliability of silicon device structures

Bibliographic Details
Main Authors: Konakova, R. V. (Author), Sinkevič, V. F. (Author), Pavlenko, A. A. (Author)
Format: Article
Language:Slovak
English
PhysicalDescription:Grafy 2, lit. 4 zázn. v angl., ruš.
ISSN:0013-578X
Subjects:

MARC

LEADER 00000nab a2200000 a 4500
001 vtls000510663
003 SK-MaSNL
005 20260304083751.0
008 250425c1993 xo 0 slo
015 |a SNBRB19rr/mm-uuuuu 
035 |a CL0510801 
035 |a urn:nbn:sk:snk-abd2ha 
035 |a (urnnbn)urn:nbn:sk:snk:ar-006wmu 
035 |a (uuid)8f3ee17c-8d8f-41ee-95e9-9ad89dd49cd5 
040 |a SNKBUCL  |b slo  |c SNKBUCL  |e AACR2 
041 0 |a eng 
044 |a xo  |c SK 
080 |a 621.382.3.032.9  |2 1981 
245 0 4 |a The influence of radiation stimulated gettering on the reliability of silicon device structures  |c Yu.S. Kleinfeld, R.U. Konakova, V.F. Sinkevič, A.A. Pavlenko 
300 |b Grafy 2, lit. 4 zázn. v angl., ruš. 
650 0 7 |a zariadenia polovodičové  |2 snkbucl  |9 1375064 
650 0 7 |a tranzistory Si  |2 snkbucl  |9 1375065 
650 0 7 |a getrovanie  |2 snkbucl  |9 1375066 
650 0 7 |a beta žiarenie  |2 snkbucl  |9 106195 
655 7 |a články z novín a časopisov  |2 snkbucl  |9 267496 
700 1 |a Konakova, R. V.  |4 aut  |9 1155234 
700 1 |a Sinkevič, V. F.  |4 aut  |9 1366593 
700 1 |a Pavlenko, A. A.  |4 aut  |9 1375067 
773 0 |t Elektrotechnický časopis  |g Roč. 44, č. 6 (1993), s. 177-178  |x 0013-578X 
850 |a Slovenská národná knižnica 
852 |a Slovenská národná knižnica 
958 |a article17 
958 |a RK 
958 |a UA 
958 |a OND 
958 |a EUIPO 
992 |a RBX 
999 |c 2801255  |d 2803185