Conditions in an MBE Process Chamber

Bibliographic Details
Main Authors:	Kovačič, Ivo (Author), Faktor, Dušan (Author), Harman, Rudolf, 1931-1999 (Author), Veselý, Marian (Author), Benkovský, Ivan (Author), Gaži, Miroslav (Author), Németh, Štefan (Author), Redhammer, Robert, 1963- (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
Subjects:	vákuová technika epitaxia zväzkom molekulovým vývevy mechanické olejové vývevy turbomolekulárne články z novín a časopisov

Similar Items