Conditions in an MBE Process Chamber

Bibliographic Details
Main Authors: Kovačič, Ivo (Author), Faktor, Dušan (Author), Harman, Rudolf, 1931-1999 (Author), Veselý, Marian (Author), Benkovský, Ivan (Author), Gaži, Miroslav (Author), Németh, Štefan (Author), Redhammer, Robert, 1963- (Author)
Format: Article
Language:Slovak
English
PhysicalDescription:Obr. 14, lit. 3 zázn. v angl.
ISSN:0013-578X
Subjects:

MARC

LEADER 00000nab a2200000 a 4500
001 vtls000502564
003 SK-MaSNL
005 20260304100931.0
008 250426c1992 xo 0 slo
015 |a SNBRB19rr/mm-uuuuu 
035 |a CL0502702 
035 |a urn:nbn:sk:snk-abd2dw 
035 |a (urnnbn)urn:nbn:sk:snk:ar-006uek 
035 |a (uuid)034118db-5ad7-46cc-a11b-09617d895b39 
040 |a SNKBUCL  |b slo  |c SNKBUCL  |e AACR2 
041 0 |a eng 
044 |a xo  |c SK 
080 |a 621.52:621.3.049.7:533.5  |2 1981 
080 |a 621.3.049.7  |2 1981 
080 |a 533.5  |2 1981 
245 0 0 |a Conditions in an MBE Process Chamber  |c Ivo Kovačič, Dušan Faktor, Rudolf Harman, Marian Veselý, Ivan Benkovský, Miroslav Gaži, Štefan Németh, Róbert Redhammer 
300 |b Obr. 14, lit. 3 zázn. v angl. 
650 0 7 |a vákuová technika  |2 SNKPH  |9 73248 
650 0 7 |a epitaxia zväzkom molekulovým  |2 snkbucl  |9 990879 
650 0 7 |a vývevy mechanické olejové  |2 snkbucl  |9 1395497 
650 0 7 |a vývevy turbomolekulárne  |2 snkbucl  |9 1395498 
655 7 |a články z novín a časopisov  |2 snkbucl  |9 267496 
700 1 |a Kovačič, Ivo  |4 aut  |9 802030 
700 1 |a Faktor, Dušan  |4 aut  |9 816601 
700 1 |a Harman, Rudolf,  |d 1931-1999  |4 aut  |9 37285 
700 1 |a Veselý, Marian  |4 aut 
700 1 |a Benkovský, Ivan  |4 aut  |9 1371794 
700 1 |a Gaži, Miroslav  |4 aut  |9 1154447 
700 1 |a Németh, Štefan  |4 aut  |9 277909 
700 1 |a Redhammer, Robert,  |d 1963-  |4 aut  |9 166956 
773 0 |t Elektrotechnický časopis  |g Roč. 43, č. 3 (1992), s. 87-91  |x 0013-578X 
850 |a Slovenská národná knižnica 
852 |a Slovenská národná knižnica 
958 |a article17 
958 |a RK 
958 |a OND 
958 |a EUIPO 
992 |a RBX 
999 |c 2840338  |d 2842268