Anodic dissolution of silicon by electrochemical carrier concentration profiling

Bibliographic Details
Main Authors:	Kinder, Rudolf, 1940- (Author), Breza, Juraj, 1951- (Author), Mika, Fedor, 1949- (Author), Grmanová, Alena (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
Subjects:	polovodiče > kremík > rozpúšťanie anodické > nosiče > koncentrácia > profilovanie > metóda kapacitno-napäťová elektrochemická články z novín a časopisov

Similar Items