Analysis and prevention of phosphorus contamination during antimony implantation

Bibliographic Details
Main Authors: Kuruc, Marián (Author), Hulényi, Ladislav, 1938- (Author), Kinder, Rudolf, 1940- (Author), Vincze, Andrej (Author)
Format: Article
Language:Slovak
English
PhysicalDescription:Grafy
ISSN:1335-3632
Subjects:

MARC

LEADER 00000nab a2200000 a 4500
001 vtls008419305
003 SK-MaSNL
005 20260304145136.0
008 250505c2005 xo mr|p|||||||000 b|slo
015 |a SNBRB2005/12  |2 snkbucl 
035 |a (uuid)ffb29daf-a339-4ba0-addc-d0f27387d767 
035 |a urn:nbn:sk:snk-abwb1 
035 |a (urnnbn)urn:nbn:sk:snk:ar-a03r31 
038 |a SNKBUCL 
040 |a SNKBUCL  |b slo  |c SNKBUCL  |e AACR2 
041 0 |a eng 
044 |a xo  |c SK 
080 |a 621.3.049.77  |2 1997 
080 |a 621.315.59  |2 1997 
245 0 0 |a Analysis and prevention of phosphorus contamination during antimony implantation  |c Marián Kuruc ... [et al.] 
300 |b Grafy 
500 |a Biogr. údaje 
504 |a Bibliogr. odkazy 
546 |a Res. angl. 
650 0 7 |a polovodičové štruktúry  |2 snkbucl  |9 738342 
650 0 7 |a iónová implantácia  |2 snkbucl  |9 976727 
650 0 7 |a kontaminácia materiálu  |2 snkbucl  |9 1467487 
700 1 |a Kuruc, Marián  |4 aut  |9 723156 
700 1 |a Hulényi, Ladislav,  |d 1938-  |4 aut  |9 16540 
700 1 |a Kinder, Rudolf,  |d 1940-  |4 aut  |9 121832 
700 1 |a Vincze, Andrej  |4 aut  |9 413307 
773 0 |t Journal of electrical engineering = Elektrotechnický časopis  |g Vol. 56, no. 7-8 (2005), p. 213-216  |x 1335-3632 
850 |a Slovenská národná knižnica 
852 |a Slovenská národná knižnica 
958 |a article27 
958 |a NB 
958 |a OND 
958 |a EUIPO 
999 |c 2934624  |d 2936554