Plasma-deposited silicon nitride films in HMDS (hexamethyldisilazane) vapours

Bibliographic Details
Main Authors:	Janča, I. (Author), Nečasová, M. (Author), Šikola, T. (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
Subjects:	nitrid kremičitý vysokofrekvenčná plazma články z novín a časopisov

Similar Items