Plasma-deposited silicon nitride films in HMDS (hexamethyldisilazane) vapours

Bibliographic Details
Main Authors:	Janča, I. (Author), Nečasová, M. (Author), Šikola, T. (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
Subjects:	nitrid kremičitý vysokofrekvenčná plazma články z novín a časopisov

Description
Physical Description:	Obr. 1. Grafy 3. Res. rus., lit. 10 zázn. v angl., ruš.

Similar Items