Wet chemical etching of AlGaAs/GaAs heterostructures controlled by optical in-situ monitoring

Bibliographic Details
Main Authors:	Waclawek, Ján (Author), Krausko, Gabriel (Author), Škriniarová, Jaroslava (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
Subjects:	polovodiče chemické leptanie monitorovanie optické in-situ články z novín a časopisov

Description
Physical Description:	Obr.
Bibliography:	Res. angl. Bibliogr. odkazy Biogr. údaje
ISSN:	0013-578X

Similar Items