Progresívne nanotechnológie na FEI STU

Bibliographic Details
Main Authors:	Weber, Bedřich (Author), Vojs, Marian (Author), Donoval, Daniel, 1953- (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak
Subjects:	nanotechnológia nanoelektronika mikrosystémy čisté priestory depozícia tenkých vrstiev plazmové leptanie litografia (eltech.)
Online Access:	http://www.casopisee.sk

Internet

http://www.casopisee.sk