Cover Image

Progresívne nanotechnológie na FEI STU

Bibliographic Details
Main Authors: Weber, Bedřich (Author), Vojs, Marian (Author), Donoval, Daniel, 1953- (Author)
Format: Article
Language:Slovak
Subjects:
nanotechnológia
nanoelektronika
mikrosystémy
čisté priestory
depozícia tenkých vrstiev
plazmové leptanie
litografia (eltech.)
Online Access:http://www.casopisee.sk
Description
Physical Description:Obr.
Bibliography:Bibliogr. odkazy
ISSN:1335-2547

Similar Items