Skip to content
Book Bag:
0
items
(Full)
Login
Language
English
Slovak
Catalog
Catalog Books
Articles
Catalog ONDV
Catalog OND
All Fields
Title
Author
Subject
Call Number
ISBN/ISSN
Find
Advanced
Plazmatické a iontové leptání...
Cite this
Print
Export Record
Export to MARC
Export to BibTeX
Export to Jednoduchý textový výpis
Export to ISBD (text)
Export to Citácia ISO 690 (HTML)
Export to Citácia ISO 690 (.doc)
Add to Book Bag
Remove from Book Bag
Permanent link
Plazmatické a iontové leptání
Bibliographic Details
Main Author:
Jech, Čestmír, 1925-2002
(Author)
Format:
Article
Language:
Slovak
Czech
Subjects:
iontové leptanie
plazmové leptanie
články z novín a časopisov
Pozri predplatné
Predplatné
Kliknite na „Pozri predplatné“.
Holdings
Description
Similar Items
Staff View
Similar Items
Dry Etching for Microelectronics
by: Luby, Štefan, 1941-
Plasma etching of deep Si-trenches with CBrF3 and dilutions
by: Handke, R., et al.
Reaktor na plazmochemické leptanie hliníkových vrstiev pre mikroelektroniku ; V. Martišovitš, J. Trnovec, M. Zahoran, I. Košinár, O. Mikuš, V. Šurda, M. Polášek
by: Martišovitš, Viktor, 1939-, et al.
Theoretical study of heterogeneous reactions during plasma etching and deposition by mass spectrometry of stable species
by: Trnovec, J., et al.
Odolnost resistů ER 1 a SCR 17.1 při plazmovém leptání
by: Novotný, Zdeněk
