Reaktor na plazmochemické leptanie hliníkových vrstiev pre mikroelektroniku ; V. Martišovitš, J. Trnovec, M. Zahoran, I. Košinár, O. Mikuš, V. Šurda, M. Polášek

Bibliographic Details
Main Authors:	Martišovitš, Viktor, 1939- (Author), Trnovec, J. (Author), Zahoran, M. (Author), Košinár, I. (Author), Mikuš, O. (Author), Šurda, Vladimír (Author), Polášek, M. (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak
Subjects:	hliník plazmové leptanie reaktory chemické články zo zborníkov

Similar Items