On ionization processis Ar-Hexamethyldisiloxane (HMDS) discharge

Bibliographic Details
Main Authors:	Schmidt, M. (Author), Maass, M. (Author)
Format:	Article
Language:	English
Subjects:	plazma (fyzika) procesy plazmové výboje Ar-hexametyldisiloxanové Ionizácia články z novín a časopisov

Similar Items