On ionization processis Ar-Hexamethyldisiloxane (HMDS) discharge

Bibliographic Details
Main Authors: Schmidt, M. (Author), Maass, M. (Author)
Format: Article
Language:English
PhysicalDescription:Obr. 6. Res. angl., lit. 15 zázn. v angl., nem., ruš.
Subjects:

MARC

LEADER 00000nab a2200000 a 4500
001 vtls000412243
003 SK-MaSNL
005 20260318122401.0
008 230223c1990 xo 0 eng
015 |a SNBRB19rr/mm-uuuuu 
035 |a CL0412368 
035 |a urn:nbn:sk:snk-ab9tz 
035 |a (urnnbn)urn:nbn:sk:snk:ar-a04ar8 
035 |a (uuid)c0119cce-d7ea-4acc-9098-f204411644bc 
040 |a SNKBUCL  |b slo  |c SNKBUCL  |e AACR2 
041 0 |a eng 
044 |a xo  |c SK 
080 |a 533.913  |2 1981 
100 1 |a Schmidt, M.  |4 aut  |9 602932 
245 1 0 |a On ionization processis Ar-Hexamethyldisiloxane (HMDS) discharge  |c M. Schmidt, M. Maass 
300 |b Obr. 6. Res. angl., lit. 15 zázn. v angl., nem., ruš. 
650 0 7 |a plazma (fyzika)  |2 snkbucl  |9 84914 
650 0 7 |a procesy plazmové  |2 snkbucl  |9 1572571 
650 0 7 |a výboje Ar-hexametyldisiloxanové  |2 snkbucl  |9 1572572 
650 0 7 |a Ionizácia  |2 snkbucl  |9 315435 
655 7 |a články z novín a časopisov  |2 snkbucl  |9 267496 
700 1 |a Maass, M.  |4 aut  |9 1572573 
773 0 |t Acta physica slovaca  |g Roč. 40, č. 2 (1990), s. 142-149 
850 |a Slovenská národná knižnica v Martine  |a MTA001 
852 |a SNK  |b KIS3GCP 
958 |a RK 
958 |a NB 
958 |a OND 
958 |a EUIPO 
958 |a article27 
992 |a RBX 
999 |c 3208203  |d 3210133