Solid phase recrystallization of thin polycrystalline silicon films implanted with Si+ ions

Bibliographic Details
Main Authors:	Ožvold, Milan, 1941- (Author), Tuchscher, Ľ. (Author), Čičmanec, Pavol, 1933-2018 (Author), Dobročka, Edmund (Author), Hurtová, O. (Author), Kopačková, K. (Author), Vávra, Ivo, 1949- (Author)
Format:	Article
Language:	Slovak English
PhysicalDescription:	Fotogr. 5, grafy 6, tab. 1, lit. 14 zázn. v angl., češ.
ISSN:	0323-0465
Subjects:	vrstvy tenké Si rekryštalizácia články z novín a časopisov

Similar Items